TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
簡要描述：
瑞(rui)士 TRIMOS TR-scan非接觸式微(wei)觀形(xing)貌測(ce)量(liang)(liang)儀 ，全自動(dong)共焦三維測(ce)量(liang)(liang)。具(ju)有(you)完善的分(fen)析功能模塊，對其表面形(xing)貌進行(xing)輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等(deng)測(ce)量(liang)(liang)。
產品時間：2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。于刀具制造工業，根據多點譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統，可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量，具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙(cao)度(du)、截面(mian)等(deng)測量(liang)。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主(zhu)要特點：
強(qiang)大的(de)多點共(gong)焦技(ji)術，zui準確的(de)測(ce)量出表面(mian)形貌數據（角度(du)、半徑、輪(lun)廓、粗糙(cao)度(du)）
通過(guo)光學(xue)方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shu)
測量速度快(kuai)，可整合成一個高效的在線測量系統
適用于陡峭的斜面，爬坡角度高(gao)達85度
垂直分辨率高(gao)達30nm
TRSCAN是*可(ke)同時獲得表面形貌和真實顏色(se)信息的3D測量設備(bei)，測量更加(jia)精(jing)確靈活
通過(guo)腳本(ben)自動測量，更適用于批量測量，并生成圖形或數(shu)字報告
粗糙度和輪廓(kuo)測量符合*EN/ISO4287標準
可用(yong)于選定區(qu)域(yu)的面積及體積計算
可選(xuan)配轉臺，實現三維掃(sao)面(mian)
可(ke)用于(yu)復雜幾何外(wai)形的形狀分析，可(ke)測量角度、半(ban)徑等表面特征(zheng)
技術參數：
| 工作臺移動范(fan)圍X | 100mm | ||
| 工作(zuo)臺(tai)移動(dong)范(fan)圍(wei)Y | 固(gu)定式 | ||
| 工作臺移動范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸(zhou)zui小位移(yi)量 | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位(wei)精(jing)度 | 1μm | ||
| XY軸導軌直線度 | 1.5μm | ||
| 工件(jian)zui大重(zhong)量 | 20kg | ||
| 測量(liang)原理 | 非接觸式多點譜(pu)線共(gong)焦(jiao)傳感器(qi) | ||
| 光源 | 白色LED共軸(zhou)光(guang)，高強光(guang)，數字可控 | ||
| 色譜共焦(jiao)傳感器(qi) | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線(xian)寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作(zuo)距(ju)離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑(ban)間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬(pa)坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測量(liang)范圍(wei) | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨率(lv) | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度zui小分(fen)辨率(lv) | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |