Dantsin-TRsacn非接觸式微觀形貌測量
簡要描述:
Dantsin-TRsacn非接觸式微觀形貌測(ce)量 瑞(rui)士丹青公司是長度類(lei)計量檢測(ce)技術供(gong)應商(shang),我們致力(li)于提高工業產(chan)品的質量品質!
產品時間:2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面(mian)積、體積(ji)、粗糙度、截面等測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特(te)點:
強大的多點共焦技術,zui準確的測量(liang)出表面形(xing)貌數(shu)據(角(jiao)度(du)(du)、半(ban)徑、輪廓(kuo)、粗糙度(du)(du))
通過光學方式測量Ra、Rq、Rz等(deng)粗糙度(du)參數
測(ce)量速度快,可整(zheng)合成一個高效的在線測(ce)量系統
適(shi)用于陡峭的(de)斜面,爬坡角度(du)高達85度(du)
垂直分(fen)辨(bian)率高達30nm
TRSCAN是*可同(tong)時獲得(de)表面(mian)形貌和真實顏色(se)信(xin)息的3D測(ce)量設備,測(ce)量更(geng)加精確靈(ling)活(huo)
通過腳(jiao)本自動(dong)測(ce)量(liang),更適用于(yu)批量(liang)測(ce)量(liang),并(bing)生(sheng)成(cheng)圖(tu)形(xing)或數字報告
粗糙度和輪廓測(ce)量符(fu)合(he)*EN/ISO4287標準
可用(yong)于(yu)選定區域的面積(ji)及體積(ji)計(ji)算
可(ke)選配轉臺,實現(xian)三(san)維(wei)掃面(mian)
可(ke)用于復(fu)雜幾何外(wai)形(xing)(xing)的形(xing)(xing)狀分析,可(ke)測量角度、半徑等表面特征
技術(shu)參數:
工作(zuo)臺移動范圍(wei)X | 100mm | ||
工作臺移動范圍Y | 固定式(shi) | ||
工作臺(tai)移動范圍(wei)Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小位移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導軌直線度 | 1.5μm | ||
工件(jian)zui大重量 | 20kg | ||
測量原(yuan)理(li) | 非接(jie)觸式多點(dian)譜線共焦(jiao)傳感器 | ||
光源 | 白色LED共軸光(guang),高強光(guang),數字可(ke)控 | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工(gong)作距(ju)離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑(ban)間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑(ban)大(da)小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度(du) | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度(du)zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測(ce)量(liang)zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |